背景：

MEMS傳感器是一種在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域，采用微電子技術和微機械加工技術而研發出來的物聯網傳感器。MEMS傳感器種類繁多，主要的MEMS傳感器包括運動傳感器、壓力、麥克風、環境、光傳感器等。環境傳感器又可細分為氣體、溫度和濕度傳感器等。其中MEMS氣體傳感器主要用于檢測目標氣體的成分、濃度等。

與傳統的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。

同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統機械傳感器所不能實現的功能。

MEMS傳感器的發展趨勢：

微型化

設備小型化、低能耗化未來，不斷縮小產品尺寸、降低產品成本是MEMS傳感器行業的重要發展趨勢之一。

MEMS傳感器產品的下游應用，對產品輕薄化有著較高的要求。MEMS生產廠商一方面改進封裝結構計，在保證產品性能的基礎上縮小器件尺寸，另一方面也同步縮小芯片的尺寸，在單片晶圓尺寸固定的情況下，芯片尺寸的減小增加了芯片的產量，也有效降低了平均成本。

未來，隨著MEMS尺寸的縮小，MEMS（微機電系統）將逐步向NEMS（納機電系統）轉變，并獲得尺寸和成本的持續降低。

集成化

多傳感器融合與協同單個設備中搭載的傳感器數量逐漸增加，同時為了提升了信號識別與收集的效果和器件的集成化程度，傳感器之間開始實現融合與協同（比如加速度計、陀螺儀、磁力計、IMU組合形成慣性傳感器組）。

柔性壓感MEMS優勢明顯

相比傳統電容式方案，柔性MEMS對終端產品的結構和內部空間要求較低，能夠有效降低組裝成本，在智能手機壓感觸控、可穿戴產品和工業/醫療測量等領域具有很大的應用潛力。

應用場景多元化

隨著人工智能和物聯網技術的發展，MEMS傳感器的應用場景將更加多元。MEMS傳感器是人工智能重要的底層硬件之一，傳感器收集的數據越豐富和精準，人工智能的功能才會越完善。

未來，智能家居、工業互聯網、車聯網、智能城市等新產業領域都將為MEMS傳感器行業帶來廣闊的市場空間。